ウェーハファウンドリー事業

米国シリコンバレーの各種工場のアウトソーシングにより200mm/300mmの成膜ウェーハおよびパターンニングサービスを提供いたします。

ベタ膜ウェーハは標準にてご用意しておりますのでリストをご覧ください。

3D NANDフラッシュメモリー用のテストパターンウェーハを提供いたします。
300mmウェーハ上にSiO2とSiNを64ペア（128層）積層したテストウェーハです。

CVDプロセス評価用の300mmTSVテストパターンウェーハの製造を承っております。
ポリッシュシリコンウェーハに2μmx120μmのビアホールを形成しこれをパターン化したウェーハを提供いたします。表面のみまたは両面加工の可能です。